Физика субмикронной литографии

Моногр.

Камиль А. Валиев

ЦБ б 94722

Издателство

Наука

Местоиздаване

Москва

Година на издаване

1990

Страници

528 с. с черт.

Класификационен индекс

УДК	Значение
681.3	Машини и устройства за обработка на данни. Дигитална техника

Отрасъл

Математ. науки. ЕИМ

Забележка

Библиогр. след всяка глава.

Системен №

7321

Допълнителна сигнатура

В 18

Инвентаризация

Статус	Брой
Централна библиотека-хранилище (ЦБ)	1

Валиев, К. Физика субмикронной литографии, Наука, 1990, 528 с. с черт..

Валиев, К. . Физика субмикронной литографии. Москва: Наука, 1990, 528 с. с черт..

Валиев, К. (1990) Физика субмикронной литографии, Москва: Наука, 528 с. с черт.

Валиев, К. (1990). Физика субмикронной литографии. Моногр.. Москва: Наука, 528 с. с черт..