Microcircuit engineering 88 : International Conference on Microlithography. Vienna, 1988, September 20-22

Proceedings of ...

Ed.: W. Fallmann; H. Loeschner; F. Paschke

Microcircuit engineering 88 : International Conference on Microlithography. Vienna, 1988, September 20-22

ЦБ в 19715

Детайли

Издателство

North-Holland

Местоиздаване

Amsterdam

Година на издаване

1989

Страници

653 p. ill.

Класификационен индекс

УДК	Тематика
535	Оптика/П, Ч/

Ключови думи

оптика

Допълнителна информация

ISBN

0-444-87448-8

Отрасъл

Физика

Системен №

52151

Допълнителна сигнатура

M65

Инвентаризация

Статус	Брой
Централна библиотека-хранилище (ЦБ)	1

Действия

APA Chicago / Turabian (16th edition) Harvard MLA (7th edition)

Microcircuit engineering 88 : International Conference on Microlithography. Vienna, 1988, September 20-22, North-Holland, 1989, 653 p. ill., 0-444-87448-8.

. Microcircuit engineering 88 : International Conference on Microlithography. Vienna, 1988, September 20-22. Amsterdam: North-Holland, 1989, 653 p. ill., 0-444-87448-8.

(1989) Microcircuit engineering 88 : International Conference on Microlithography. Vienna, 1988, September 20-22, Amsterdam: North-Holland, 653 p. ill., 0-444-87448-8

(1989). Microcircuit engineering 88 : International Conference on Microlithography. Vienna, 1988, September 20-22. Proceedings of .... Amsterdam: North-Holland, 653 p. ill..