ТАБЛИЦЫ параметров пространственного распределения ионно-имплантированных примесей

Теория, метод расчета, таблицы

А. Ф. Буренков и др

СА20527

Издателство

БГУ

Местоиздаване

Минск

Година на издаване

1980

Страници

352 с. с черт.

Класификационен индекс

УДК	Значение
ОВ622я2	ОВ622я2 --> от ISIS без текст

Отрасъл

Физика

Забележка

Библиогр. с. 345- 348

Инвентаризация

Статус	Брой
Централна библиотека-хранилище	1

, А. Ф. Буренков и др ТАБЛИЦЫ параметров пространственного распределения ионно-имплантированных примесей, БГУ, 1980, 352 с. с черт..

, А. Ф. Буренков и др. ТАБЛИЦЫ параметров пространственного распределения ионно-имплантированных примесей. Минск: БГУ, 1980, 352 с. с черт..

, А. Ф. Буренков и др (1980) ТАБЛИЦЫ параметров пространственного распределения ионно-имплантированных примесей, Минск: БГУ, 352 с. с черт.