Автоматизация технологического оборудования микроэлектроники

Учебник

А. Сазонов

ЦБ б 94477

Издателство

Высшая школа

Местоиздаване

Москва

Година на издаване

1991

Страници

330 с. с ил.

Класификационен индекс

УДК	Значение
681.5	Автоматика. Теория, методи и устройства на системите за автоматично управление и регулиране. Техниче

Отрасъл

Математ. науки. ЕИМ

Инвентаризация

Статус	Брой
отчислен	1

Сазонов, А. Автоматизация технологического оборудования микроэлектроники, Высшая школа, 1991, 330 с. с ил..

Сазонов, А.. Автоматизация технологического оборудования микроэлектроники. Москва: Высшая школа, 1991, 330 с. с ил..

Сазонов, А. (1991) Автоматизация технологического оборудования микроэлектроники, Москва: Высшая школа, 330 с. с ил.