Расчет и проектирование устройств электронной и ионной литографии

Моногр.

Виктор Попов; С. Ячменев

ЦБ б 87971

Издателство

Радио и связь

Местоиздаване

Москва

Година на издаване

1985

Страници

128 с.

Класификационен индекс

УДК	Значение
62	Техника. Технически науки. /П, Ч, Д, С, Кр/

Отрасъл

Техн. науки. Инж. химия. Приложни науки. Селс

Забележка

Библиогр. с. 124-126.

Инвентаризация

Статус	Брой
отчислен	1

Попов, Виктор, Ячменев, С. Расчет и проектирование устройств электронной и ионной литографии, Радио и связь, 1985, 128 с..

Попов, Виктор, Ячменев, С.. Расчет и проектирование устройств электронной и ионной литографии. Москва: Радио и связь, 1985, 128 с..

Попов, Виктор, Ячменев, С. (1985) Расчет и проектирование устройств электронной и ионной литографии, Москва: Радио и связь, 128 с.